BORON11 TRICHLORIDE SEMICEDUCTOR DOPANT SEMICEDUCTOR DRY ETCHING
Vöru kynning
Við venjulegan hitastig og þrýsting er bór tríklóríð (BCL 3 ) litlaust reykloft, sem er eldfimt, pungent, súrt lykt. Boron tríklóríð brotnar niður í saltsýru og bórsýru og losar mikið af hita sem lendir í vatni, það býr til reyk í blautum lofti vegna vatnsrofi og BCL 3 brotnar niður í saltsýru og bórsýru í áfengi. Boron trichloride hefur sterka viðbragðsgetu og getur myndað margvísleg samhæfingarsambönd. Boron trichloride getur brugðist við gleri og keramik þegar það er hitað og það bregst einnig við mörgum lífrænum efnasamböndum til að mynda margs konar organoboron efnasambönd. Boron11 tríklóríð með mikla hreinleika er aðallega notað til að dreifa lyfjamisnotkun í framleiðsluferli (kísil) hálfleiðara tæki. Bór óhreinindi eru búin til með niðurbroti BCL 3 og dreifist í átt að sílikoni til að mynda hálfleiðara af gerð P-gerð við háan hita. BCL 3 er einnig hægt að nota til þurrs ets af AL, MOSI 2 , Tasi 2 , Tisi 2 , WSI og öðrum efnum.
Gæðaforskrift
|
items
|
Units
|
Index
|
|
Boron11 Trichloride≥
|
Vol.%
|
99.9995
|
|
Oxygen+Argon<
|
Vol.ppm
|
1
|
|
Nitrogen<
|
Vol.ppm
|
4
|
|
Ca
rbon monoxide<
|
Vol.ppm
|
0.5
|
|
Carbon dioxide<
|
Vol.ppm
|
0.2
|
|
Methane <
|
Vol.ppm
|
0.5
|
|
Total impurity content≤
|
Vol.ppm
|
5
|
|
Metal ion
|
Vol.ppm
|
Supply and demand agreement
|
Umsókn
Boron trichloride er hægt að nota til að framleiða háa hreina bór, hvata fyrir lífræna myndun, flæðisefni til niðurbrots silíkats, og það var einnig notað sem aukefni deoxidizer, nítríðs og karbíðs við hreinsun álfelgis. Hátt hreint bór11 tríklóríð er aðallega notað í dreifingu lyfjamisnotkun, jónígræðslu, þurrt etsingu og öðrum ferlum í hálfleiðara tækjum og samþættum hringrásarframleiðslu.
Umbúðir og geymsla
Boron11 trichloride er fyllt í strokkinn. Hólkurinn fylltur með boron11 tríklóríði er í samræmi við viðeigandi ákvæði GB14193. Umbúðirnar eru 10L og 47L. Varan er geymd í skuggalegum, þurrum og loftræstum geymslu undir 60 ℃ . Það er bannað að afhjúpa sólina og halda frá hitaheimildum. Pakkinn verður að innsigla og hann ætti að geyma sérstaklega með basa og öðrum hættulegum greinum.
Contact Now
